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Sensor de derivación CMOS

La medición se lleva a cabo directamente en el conducto de derivación.

Se sitúa un elemento de flujo laminar en el conducto principal para generar una ligera caída de presión, que se emplea para conducir una pequeña proporción del caudal a través del conducto de derivación. El sensor que está instalado en dicho conducto mide directamente el caudal másico, a través de la medición del diferencial de temperatura. En este caso, la medida se efectúa en un conducto de flujo con una geometría especial, cuyas paredes contienen un chip de silicio con una membrana expuesta al medio. Un cable calefactor se conecta a esta membrana, utilizando tecnología CMOSens®, junto con dos sensores de temperatura situados aguas arriba y aguas abajo del cable. Si el cable calefactor recibe una tensión constante, la diferencia de potencial entre los sensores de temperatura constituye una medida del caudal másico de gas que atraviesa el canal de derivación a la altura del chip.

Diagrama funcional de un sensor de derivación de tecnología
CMOSSens (sección transversal del canal de derivación)